由開山上海通(tong)用(yong)(yong)機械(xie)研(yan)究院自(zi)主研(yan)發的離心式雙(shuang)介質氣體(ti)組合壓縮(suo)機日前在江蘇某(mou)全球領(ling)先(xian)的集成電路(lu)制造(zao)企業順利完(wan)成調(diao)試并投入使用(yong)(yong)，各項參數達到設計要求，獲得用(yong)(yong)戶好(hao)評(ping)。
眾所周知(zhi)，半(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)(ti)行業八大核心(xin)材(cai)料(liao)中(zhong)(zhong)，電(dian)(dian)子(zi)(zi)氣體(ti)(ti)(ti)是(shi)僅次于(yu)(yu)硅的(de)(de)(de)主要(yao)原材(cai)料(liao)，其(qi)(qi)在半(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)(ti)晶圓制造材(cai)料(liao)價(jia)值中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)占比為13.5%。電(dian)(dian)子(zi)(zi)氣體(ti)(ti)(ti)在電(dian)(dian)子(zi)(zi)產(chan)(chan)品制造工藝(yi)(yi)中(zhong)(zhong)廣泛應用于(yu)(yu)離子(zi)(zi)注入、刻蝕(shi)、氣相(xiang)、沉積、摻(chan)雜等工藝(yi)(yi)，被稱為集成電(dian)(dian)路(lu)、液晶面板、LED及(ji)光伏等材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)“糧食”和“源”。電(dian)(dian)子(zi)(zi)半(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)(ti)器件的(de)(de)(de)性能(neng)優劣與電(dian)(dian)子(zi)(zi)氣體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)息息相(xiang)關(guan)，而高(gao)純度(du)/超高(gao)純度(du)氮是(shi)電(dian)(dian)子(zi)(zi)氣體(ti)(ti)(ti)中(zhong)(zhong)極(ji)其(qi)(qi)重(zhong)要(yao)的(de)(de)(de)成員之一，其(qi)(qi)在惰性保護、載(zai)氣、特種氣體(ti)(ti)(ti)、管道吹(chui)掃排氣、稀釋(shi)、等離子(zi)(zi)注入等半(ban)(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)(ti)生產(chan)(chan)工藝(yi)(yi)環節中(zhong)(zhong)都(dou)是(shi)不可或缺的(de)(de)(de)原料(liao)氣和工藝(yi)(yi)氣。而離心(xin)式雙介質(zhi)氣體(ti)(ti)(ti)組合(he)壓縮(suo)機組則是(shi)高(gao)純氮生產(chan)(chan)工藝(yi)(yi)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)核心(xin)裝備。長期以來其(qi)(qi)該類型(xing)壓縮(suo)機市場一直由美國(guo)企(qi)業所壟斷。
本次(ci)成功投運(yun)的(de)(de)機(ji)組(zu)是開山制造、完全自主知(zhi)識產(chan)(chan)權的(de)(de)國產(chan)(chan)首臺(tai)套該(gai)類型(xing)壓縮機(ji)，其使用于一(yi)世界(jie)500強國際知(zhi)名氣體公司(si)(si)的(de)(de)制氮系統之中，這(zhe)(zhe)也是這(zhe)(zhe)家(jia)企業首次(ci)與中國壓縮機(ji)廠商進行合作。本次(ci)投運(yun)成功，極(ji)大(da)的(de)(de)提升了該(gai)公司(si)(si)高純(chun)氮制備系統的(de)(de)市(shi)場(chang)競爭力。這(zhe)(zhe)是雙方四年共同努力的(de)(de)結果(guo)。
與此同時，兩(liang)套運用于國(guo)產(chan)高純(chun)氮制(zhi)備(bei)系統的該(gai)類型壓(ya)縮機(ji)調(diao)試工作也已收(shou)尾，各(ge)項參數(shu)達到設(she)計(ji)需求，甚至部分參數(shu)超越了設(she)計(ji)需求.
/images/upload/file/20221220/20221220110811_43629.mp4
過去二十(shi)年(nian)里，開(kai)山持續在(zai)核心(xin)技術(shu)(shu)上進行大(da)強度投(tou)入，逐步在(zai)螺(luo)桿、透平、往復(fu)等(deng)各類型壓縮(suo)機、膨脹(zhang)機、真空泵等(deng)諸多領域構(gou)建起一(yi)(yi)定技術(shu)(shu)優(you)勢。在(zai)目前“國產化(hua)(hua)”需求(qiu)日益高(gao)漲(zhang)的(de)(de)(de)背景之下，這種技術(shu)(shu)優(you)勢使得我們(men)的(de)(de)(de)中(zhong)國用(yong)戶不(bu)僅不(bu)會因(yin)“國產化(hua)(hua)”去犧牲所需設備(bei)的(de)(de)(de)品質，反而“國產化(hua)(hua)”后獲得了(le)(le)更可靠的(de)(de)(de)產品質量和更低的(de)(de)(de)能(neng)源(yuan)消耗。而對于我們(men)的(de)(de)(de)國際(ji)用(yong)戶則是發現以開(kai)山為(wei)代表(biao)的(de)(de)(de)中(zhong)國裝備(bei)為(wei)他(ta)們(men)帶來了(le)(le)更大(da)的(de)(de)(de)獲益。本次離(li)心(xin)式(shi)雙(shuang)介質氣體(ti)組合壓縮(suo)機的(de)(de)(de)投(tou)運成功只是前述文(wen)字(zi)一(yi)(yi)個小小的(de)(de)(de)例(li)證吧。