由(you)開山上海通用(yong)機械(xie)研(yan)(yan)究院(yuan)自(zi)主研(yan)(yan)發的離心(xin)式雙介(jie)質氣體組(zu)合(he)壓(ya)縮機日前在江蘇某全球領先的集成(cheng)電路制造企(qi)業順利完成(cheng)調試并投(tou)入使用(yong)，各項參數(shu)達(da)到(dao)設計(ji)要求(qiu)，獲得用(yong)戶好評。
眾所周知(zhi)，半導(dao)體(ti)(ti)行業(ye)八大核心(xin)(xin)材料中(zhong)，電(dian)子(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)是(shi)僅次于硅(gui)的(de)主要原材料，其(qi)在半導(dao)體(ti)(ti)晶(jing)圓(yuan)制造材料價值中(zhong)的(de)占比為13.5%。電(dian)子(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)在電(dian)子(zi)(zi)產品制造工藝(yi)中(zhong)廣泛(fan)應(ying)用于離(li)子(zi)(zi)注入、刻蝕、氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相、沉積、摻雜等工藝(yi)，被稱為集成電(dian)路、液晶(jing)面板、LED及光伏等材料的(de)“糧食(shi)”和“源”。電(dian)子(zi)(zi)半導(dao)體(ti)(ti)器件的(de)性(xing)(xing)能優劣與電(dian)子(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)質量(liang)息(xi)(xi)息(xi)(xi)相關，而高純(chun)度/超高純(chun)度氮是(shi)電(dian)子(zi)(zi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)極其(qi)重要的(de)成員之一，其(qi)在惰(duo)性(xing)(xing)保護、載氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)、管道(dao)吹掃排氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、稀釋、等離(li)子(zi)(zi)注入等半導(dao)體(ti)(ti)生(sheng)產工藝(yi)環節(jie)中(zhong)都(dou)是(shi)不可(ke)或缺的(de)原料氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)和工藝(yi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。而離(li)心(xin)(xin)式(shi)雙介質氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)組合壓(ya)縮(suo)機組則是(shi)高純(chun)氮生(sheng)產工藝(yi)中(zhong)的(de)核心(xin)(xin)裝(zhuang)備。長期以來其(qi)該類型壓(ya)縮(suo)機市場一直由美國企業(ye)所壟斷。
本次(ci)成(cheng)功(gong)投(tou)運的(de)機組是開山(shan)制造(zao)、完全自主知識產權的(de)國產首(shou)臺套該(gai)類型壓(ya)縮(suo)機，其使用于一世界500強國際知名(ming)氣(qi)體公司的(de)制氮系統之中，這也(ye)是這家企業首(shou)次(ci)與中國壓(ya)縮(suo)機廠(chang)商進行(xing)合作。本次(ci)投(tou)運成(cheng)功(gong)，極(ji)大(da)的(de)提升了該(gai)公司高純氮制備系統的(de)市場競爭力。這是雙(shuang)方四年共(gong)同努力的(de)結(jie)果。
與此同時(shi)，兩套運用于國產高純氮制(zhi)備系統的該類型壓縮機調(diao)試工作也已收尾(wei)，各(ge)項參數達(da)到(dao)設(she)計需求，甚(shen)至部分(fen)參數超越了設(she)計需求.
/images/upload/file/20221220/20221220110811_43629.mp4
過去二(er)十年里，開山持續(xu)在核心技術(shu)(shu)上(shang)進行大強度(du)投入(ru)，逐(zhu)步在螺桿、透平、往復(fu)等(deng)(deng)各類型壓(ya)縮機(ji)、膨(peng)脹機(ji)、真空泵等(deng)(deng)諸多領域構建(jian)起一(yi)定技術(shu)(shu)優勢(shi)。在目(mu)前(qian)“國(guo)(guo)產(chan)(chan)化”需求(qiu)日益高(gao)漲(zhang)的(de)(de)(de)背(bei)景之下(xia)，這種技術(shu)(shu)優勢(shi)使得(de)我們的(de)(de)(de)中(zhong)國(guo)(guo)用(yong)戶不僅不會因“國(guo)(guo)產(chan)(chan)化”去犧牲(sheng)所需設備的(de)(de)(de)品(pin)質，反(fan)而“國(guo)(guo)產(chan)(chan)化”后(hou)獲得(de)了更可靠的(de)(de)(de)產(chan)(chan)品(pin)質量和更低的(de)(de)(de)能(neng)源消耗。而對(dui)于(yu)我們的(de)(de)(de)國(guo)(guo)際用(yong)戶則是發現以(yi)開山為代表的(de)(de)(de)中(zhong)國(guo)(guo)裝(zhuang)備為他(ta)們帶來(lai)了更大的(de)(de)(de)獲益。本次離心式雙介質氣體組合壓(ya)縮機(ji)的(de)(de)(de)投運成功只(zhi)是前(qian)述文字一(yi)個小小的(de)(de)(de)例(li)證吧。